Osnovni principi skeniranja elektronskog mikroskopa
Elektronska zraka koju emitira skenirajući elektronski mikroskopski elektronski pištolj je fokusirana i kondenzirana u izvor svjetlosti točke; točkasti izvor svjetlosti tvori visokoenergetsku elektronsku zraku pod ubrzanim naponom; visokoenergetska elektronska zraka usmjerena je u svjetlosnu točku malog promjera kroz dvije elektromagnetske leće, a prolazi kroz posljednju Nakon elektromagnetske leće s zavojnici za skeniranje, elektronska zraka bombardira površinu uzorka točku po točku na način skeniranja nalik na raster, a istovremeno uzbuđuje elektroničke signale različitih dubina.